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researcher / Michel Bienfait

Michel Bienfait

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Disciplines:

Applied sciences

Materials science and engineering

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Directed Thesis:

Etude thermodynamique et structurale de l'adsorption de gaz sur les nanotubes de carbone monoparois

Fluage des alliages à base d'aluminium-lithium

Caractérisation et analyse de la gravure du polysilicium par le chlore avec le système plasma triode pour la réalisation de circuits à haut niveau d'intégration

Contribution à l'étude des surfaces et interfaces métal-semiconducteur (Ag/Si; Au/Si) par spectroscopie de pertes d'énergies d'électrons lents à haute résolution

I Chimisorption : étude par spectrométrie de masse de la gravure thermique du silicium (111) et de la silice par le chlore. II Physisorption : étude thermodynamique et structurale de la monocouche de méthane (CH4) adsorbée sur graphite par diffraction d'électrons lents