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Isabelle Berbezier
Isabelle Berbezier
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Materials science and engineering
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Nanostructuration par FIB filtrée pour l'élaboration de nanostructures semi-conductrices organisées
Etude de procédés plasma basse énergie pour la préparation de surface de silicium et le dépôt chimique en phase vapeur d'hétérostructures Si/SiGe
Croissance et caractérisations de structures silicium et silicium-germanium réalisées par MBE