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researcher / Fabien Volpi

Fabien Volpi

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Disciplines:

Civil engineering

Materials science and engineering

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Thesis:

Croissance et caractérisations de structures silicium et silicium-germanium réalisées par MBE

Directed Thesis:

Optimisation par voie métallurgique des performances mécanique et électrique d'alliages de métaux nobles

Développement et application d'un nanoindenteur in situ MEB couplé à des mesures électriques

Fiabilité des diélectriques low-k SiOCH poreux dans les interconnexions CMOS avancées

AFM à contact résonant : développement et modélisation

Intégration et caractérisation de diélectriques poreux à très basse permittivité pour les interconnexions de circuits cmos sub-45nm

Caractérisation par la méthode Corona de diélectriques à faible et très faible permittivité

Etude et modélisation de la topographie des couches minces de Ta2O5 déposées par MOCVD dans des structures tridimensionnelles : applications aux capacités tranchées