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researcher / Jérôme Gavillet

Jérôme Gavillet

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Disciplines:

Materials science and engineering

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Thesis:

Dépôt chimique de zircone en phase vapeur par réaction entre ZrCl4 et une post-décharge micro-ondes Ar-O2-H2 en écoulement : diagnostic de la phase gazeuse, modélisation du réacteur et caractérisation des films