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Roger Hillel
Roger Hillel
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Engineering sciences
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Revêtements céramiques de type "TiSiN" élaborés par dépôt chimique en phase gazeuse à partir de TiCl4, SiH2Cl2, N2(ou NH3) et H2
Revêtements céramiques amorphes de type "SiCN" élaborés par dépôt chimique en phase gazeuse à partir de TMS + NH3 + H2