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researcher / Rym Benaboud

Rym Benaboud

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Disciplines:

Civil engineering
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Thesis:

Etude thermodynamique et élaboration de dépôts métalliques (W-N-C, Ti-N-C) par PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) pour la réalisation d'électrodes de capacités métal / isolant / métal dans les circuits intégrés