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researcher / DANIELE BIELLE DASPET

DANIELE BIELLE DASPET

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Disciplines:

Electrical engineering

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Directed Thesis:

Faisabilité de films isolants de nitrure de silicium par technique de dépôt en phase vapeur à basse température : comparaison des filières gazeuses Dichlorosilane-Ammoniac et Disilane-Ammoniac