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researcher / Alexandre Tishchenko

Alexandre Tishchenko

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Disciplines:

Electrical engineering

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Directed Thesis:

Caractérisation et modélisation des effets d'empilement des couches minces sous la résine photosensible pendant le procédé de photolithographie optique

Etude de la modification de la source dans l'utilisation de la méthode de co-optimisation source masque en lithographie optique : mise en oeuvre et applications