Disciplines Institutions Contribute Search
Add Thesis Add Researcher Add Institution
researcher / Yves Jourlin

Yves Jourlin

at_id:

orcid_id:

Disciplines:

Electrical engineering
Edit Merge See Links

Directed Thesis:

Approche holistique du contrôle du focus en photolithographie 193nm immersion pour les niveaux critiques en 28nm et 14nm FD-SOI