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Yves Pauleau
Yves Pauleau
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Chemical engineering
Electrical engineering
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Etude et développement d'une source de plasma micro-onde pour déposer des revetements par pulvérisation sur des grandes surfaces
Etude des transferts de matière et d’énergie dans un réacteur de dépot par pulvérisation cathodique et caractérisation des couches de carbone obtenues
Couches minces de tungstène déposées par le procédé C. V. D. Pour la métallisation des circuits intégrés