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researcher / Alain Claverie

Alain Claverie

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Disciplines:

Applied sciences

Civil engineering

Materials science and engineering

Nanophysics

Physics

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Directed Thesis:

Strain integration and performance optimization in sub-20nm FDSOI CMOS technology

Etude du piégeage de l’hydrogène implanté et application au transfert de couches fines de silicium

Précipitation et contrainte dans le silicium implanté par hydrogène

Mécanismes de base dans la co-implantation hélium - hydrogène du silicium

Mesures de déformations dans des dispositifs de la microélectronique par microscopie électronique en transmission en haute résolution et holographie en champ sombre

Implantation, diffusion et activation des dopants dans le germanium

Ingénierie de défauts ponctuels pour le contrôle de la diffusion et de l’activation du Bore dans le Silicium

Diffusion acceleree et transitoire du bore dans le silicium : influence des defauts etendus et de la surface de la plaquette