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Anne Bouteville
Anne Bouteville
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Physics
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Obtention et étude de couches minces de siliciures de métaux réfractaires
Directed Thesis:
Elaboration et caracterisation de couches minces de nitrure de titane obtenues par depot chimique en phase vapeur a pression reduite et chauffage rapide, etudes thermodynamique et cinetique
Etude du dépôt sélectif de siliciure de titane : évaluation d'un nouveau système de dépôt chimique en phase vapeur à pression réduite et chauffage rapide