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researcher / Claude Pomot

Claude Pomot

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Disciplines:

Electrical engineering

Physics

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Directed Thesis:

Nettoyage de surfaces de silicium par plasma (PMM) d'argon et d'hydrogène : étude de la désorption de l'hydrogène

Défauts induits dans le silicium par la gravure en plasma de SF6

Excitateurs pour plasma multipolaire micro-onde : application à la réalisation d'un réacteur de gravure en microélectronique

Oxydation du silicium et modification de l'ordre à courte distance dans les oxydes de silicium induits par un rayonnement laser ultra violet

Caractérisation d'un plasma multipolaire micro-onde de SF6 dilué : corrélation entre flux d'espèces incidentes et cinétiques de gravure du silicium