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Michel Remy
Michel Remy
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Disciplines:
Applied sciences
Physics
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Étude corrélative d'un plasma multipolaire d'oxygène et des diélectriques formés dans ce plasma sur un substrat semi-conducteur : application à la passivation du phosphure d'indium
Étude d'un plasma continu pulsé en régime de décharge et de post-décharge : application à la nitruration du fer
Contribution à l'étude d'une décharge en cathode creuse de titane
Étude de l'émission d'ions négatifs secondaires par pulvérisation ionique d'alliages binaires
Étude de l'émission négative secondaire par pulvérisation ionique de composés métalliques : Application à la formation d'ions négatifs de certains métaux