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researcher / Bernard Agius

Bernard Agius

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Disciplines:

Applied sciences

Physics

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Directed Thesis:

Depot de films minces ferroelectriques de pb(zr,ti)o 3 (pzt) par pulverisation cathodique rf magnetron en mode reactif. Etude correlee du plasma et des proprietes physiques des films deposes

Depots de films minces sin#x assistes par plasma de haute densite. Etudes correlees de la phase gazeuse, de l'interface sin#x/inp et de la passivation du transistor bipolaire a heterojonction inp

Etude de films minces de nitrure de silicium deposes a basse temperature par plasma multipolaire micro-onde. Application aux structures si/si#3n#4 et inp/si#3n#4

Etude de films minces de silice deposes a basse temperature par pecvd rcer

Elaboration de couches minces ferroelectriques de type pzt pb(zr#x,ti#1##x)o#3 par la methode de pulverisation cathodique magnetron

Etude du depot de films minces de silice par plasma multipolaire microonde. Application a l'etude de structures sio#2-inp

Gravure ionique reactive en plasma de sf#6 de films minces de siliciure de molybdene pour photomasques

Etude du depot de nitrure de silicium sur gaas par pulverisation cathodique reactive rf magnetron

Contribution a l'etude, par spectroscopie de photoelectrons, d'interfaces polymere-metal : application au cas de l'acide polyamique et du polyimide