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researcher / Jean-Louis Jauberteau

Jean-Louis Jauberteau

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Disciplines:

Physics
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Depots de nitrure de silicium amorphe obtenus par cvd assistee par plasma de decharge et par post-decharge dans un melange gazeux ar-sih::(4)-n::(2) : correlation entre les cinetiques reactionnelles en phase gazeuse et les caracteristiques des couches realisees