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researcher / Jean-Paul Booth

Jean-Paul Booth

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Disciplines:

Physics

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Directed Thesis:

Two Dimensional PIC/MCC Simulations of RF CCPs with a Dielectric Side Wall

Etude d'une décharge inductive de CF4

Caractérisations optique et électrique d'un plasma de chlore haute densité et effets des interactions plasma/surface en gravure silicium

Diagnostics optiques et électriques dans les plasmas : application à l'étude des interactions plasma-surface pour la micro-électronique