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Roland Kleim
Roland Kleim
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Chemistry
Physics
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Ellipsométrie spectroscopique conventionnelle et généralisée de milieux anisotropes : application à l'étude des propriétés optiques de l'iodure mercurique (HgI2)
Modélisation, étude, réalisation d'un interféromètre in-situ, temps réel destiné aux mesures dimensionnelles des puces électroniques submicroniques pendant un procédé de gravure ou de dépot
Couplage des techniques ellipsométriques et électrochimiques pour l'étude de la réactivité de métaux : application à la croissance de films de sulfate de plomb et d'heptanoate de cuivre
Contribution à l'étude des propriétés optiques des matériaux liquides par ellipsométrie spectroscopique
Ellipsométrie spectroscopique à angle variable : applications à l'étude des propriétés optiques de semi-conducteurs II-VI et à la caractérisation de couches à gradient d'indice