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researcher / Nader Sadeghi

Nader Sadeghi

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Disciplines:

Electrical engineering

Physics

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Directed Thesis:

Etude théorique et expérimentale d’une micro décharge à cathode creuse à pression intermédiaire dans l’argon

Interactions entre les plasmas de gravure à couplage inductif et les parois du réacteur

Etude des mécanismes de formation de la zone d'ionization secondaire en post-décharge d'un plasma micro-onde d'azote

Caractérisation de différents plasmas à l'aide de lasers accordables : 'analyse de l'effet de saturation optique dans des expériences CRDS et mesure de température de gaz dans un réacteur Hélicon

Interactions des atomes de fluor et des radicaux d'un plasma de CF4 avec une surface de polymère

Etude de la gravure profonde du silicium dans un réacteur haute-densité micro-onde de type propagatif

Etude du transport et de la formation de particules pendant l'étape microélectronique de gravure assistée plasma