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researcher / Yves Cros

Yves Cros

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Disciplines:

Electrical engineering
Physics
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Directed Thesis:

Analyse haute résolution spatiale par spectrométrie des pertes d'énergie d'électrons transmis : application en microélectronique à la caractérisation de couches minces (inférieur à 8NM) d'oxydes nitrurés
Préparation, caractérisation physico-chimique et étude des défauts paramagnétiques des oxynitrures de silicium à faible taux d'hydrogène
Réseau amorphe et défauts ponctuels révélés par RPE sous UV dans les oxynitrures de silicium PECVD
Propriétés physicochimiques d'oxynitrures de silicium préparés à partir de 3 gaz, à basse température, par PECVD : étude de la dilution à l'hélium
Préparation et caractérisation physicochimique d'oxydes de silicium faiblement nitrurés préparés à basse température par P. E. C. V. D