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researcher / Marie-Christine Hugon

Marie-Christine Hugon

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Disciplines:

Chemistry

Physics

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Thesis:

Contacts ohmiques refractaires realises par pulverisation cathodique magnetron sur gaas de type-n : optimisation de la metallurgie et mecanismes de conduction

Directed Thesis:

Précurseurs organo-métalliques pour le dépôt de TaN et WN par ALDCorrélation entre les précurseurs utilisés et les propriétés des films et structures obtenues