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researcher / Pierre Ranson

Pierre Ranson

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Disciplines:

Applied sciences

Physics

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Directed Thesis:

Développement industriel d'une plate-forme prototype : applications au traitement de surfaces et à la stérilisation par plasmas froids

Simulation numérique par méthode Monte Carlo de la gravure du silicium en plasma fluoré : étude du rôle de l'oxygène dans la passivation : comparaison avec des résultats expétimentaux

Etude de la gravure profonde du silicium à très basse température : application à la réalisation de caissons d'isolation pour la microélectronique de puissance

Mise au point et caracterisation de procedes plasma intervenant lors de l'elaboration des interconnexions pour les filieres cmos

Etude de la recombinaison heterogene de l'hydrogene atomique en milieu plasma basse pression

Determination spectroscopique de fonctions de distribution d'energie electronique dans un plasma basse pression

Analyse du vibron de n#2 dans le cristal pur d'azote et dans les cristaux mixtes n#2/co par spectroscopie de diffusion raman haute resolution

Diagnostic et modelisation d'un plasma basse pression gaz rares-fluor excite a 13. 56 mhz

Diagnostic et modelisation de la diffusion d'un plasma d'argon dans un reacteur radiofrequence a source helicon