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Claude Lejeune
Claude Lejeune
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Applied sciences
Physics
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Cinetiques et dommages associes a la gravure selective silice sur silicium sous faisceau d'ions fluorocarbones. Caracterisation des surfaces gravees par spectrometrie auger, spectrometrie de photoelectrons et contact electrique
Cinetiques et dommages associes a la gravure selective sio#2/si sous faisceau d'ions fluorocarbones; apport de l'ellipsometrie a la caracterisation des surfaces gravees
Sources d'ions et optiques d'accélération pour tubes neutroniques scellés à haut flux : conception et test d'un canon à ions prototype
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