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researcher / Thanh Long Phan

Thanh Long Phan

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Disciplines:

Physics

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Thesis:

Etude fondamentale des mécanismes physico-chimiques de gravure plasma basés sur les effets stériques et de diffusion. Comportements prévisionnels de la gravure des éléments de la colonne IV et des composés III-V par les halogènes : loi de similitude