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researcher / Jacques Pelletier

Jacques Pelletier

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Disciplines:

Chemical engineering

Physics

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Directed Thesis:

Effets de température dans les procédés de gravure plasma : aspects fondamentaux et applications

Décharges excitées à la résonance cyclotronique électronique distribuée et générateurs à transformateur d'imulsions pour implantation ionique par immersion plasma

Etude de la production et de la diffusion du plasma dans les sources a excitation par resonance cyclotronique electronique repartie. Influence de la frequence d'excitation

Etude de l'interaction plasma/polymère : influence des propriétés physico-chimiques des polymères et application au développement anisotrope des résines en lithographie submicronique

Etude expérimentale de la gravure des polymères dans les plasmas multipolaires micro-onde à base d'oxygène et de SF6