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researcher / Jacques Jolly

Jacques Jolly

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Disciplines:

Physics

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Directed Thesis:

Effet de la fréquence dans les décharges VHF sur les caractéristiques des plasmas utilisés pour le dépôt de silicium microcristallin

Etude des radicaux du silane dans un plasma de depot par fluorescence induite par laser

Contribution a l'etude des mecanismes de depot de carbone amorphe dans des decharges radiofrequence de methane : spectrometrie de masse des radicaux et modelisation physico-chimique

Caracterisation par spectrometrie de masse des radicaux des mecanismes de depot dans des decharges de silane, methane et hydrogene

Etude de la region cathodique d'une decharge luminescente d'hydrogene : diagnostics spectroscopiques

Étude des caractéristiques du plasma dans la région cathodique d'une décharge luminescente d'azote