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researcher / Jérôme Perrin

Jérôme Perrin

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Disciplines:

Applied sciences

Physics

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Directed Thesis:

Etude d'un plasma de sf 6 cree dans un reacteur helicon : application a la gravure du carbure de silicium

Etude et modelisation de recouvrements de structures par des films de silicium amorphe et d'oxyde de silicium deposes par procedes chimiques en phase vapeur assistes par plasma

Etude de la realisation d'un depot de carbone amorphe adamantin nitrure, stable et adherent

Etude des proprietes optiques de dispositifs photovoltaiques a base de silicium amorphe par spectroscopie de deflexion photothermique, diffusometrie, et simulation numerique

Optimisation de structures mis sur inp : passivation de la surface d'inp par des solutions de sulfure d'ammonium et depot d'isolants par methode photochimique

Dépôt de nitrure de silicium par photosensibilisation assistée par le Hg à 254 nm du NH3-SiH4 : modélisation et diagnostics de la phase gazeuse