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researcher / Caroline Laporte

Caroline Laporte

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Disciplines:

Physics
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Thesis:

Étude du transfert d'énergie d'une onde à un plasma : application aux décharges basse pression créées par onde de surface

Directed Thesis:

Etude de micro-plasmas créés par microondes à pression atmosphérique
Etude spatio-temporelle d'un procédé de pulvérisation cathodique magnétron à fort degré d'ionisation de la vapeur pulvérisée
Plasma diagnostics focused on new magnetron sputtering devices for thin film deposition
Caracterisation et modelisation electromagnetique d'un plasma micro-onde cree par un guide a fentes
Depot d'oxyde de silicium dans un reacteur plasma micro-ondes de grand diametre en melange hexamethyldisiloxane/ oxygene
Decharges microondes en impulsion en melange n#2/o#2 type air