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Guy Gautherin
Guy Gautherin
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Applied sciences
Engineering sciences
Physics
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Quelques aspects de la formation de films minces de nitrure de bore cubique obtenus par depot physique en phase vapeur assiste par faisceau d'ions
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Oxydation et reduction de semi-conducteurs sous irradiation de basse energie
Caractérisation de nitrures diélectriques déposés par pulvérisation ionique réactive : applications en microélectronique
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