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researcher / Jean-Marie Mackowski

Jean-Marie Mackowski

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Disciplines:

Natural sciences

Physics

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Directed Thesis:

Étude et réalisation d'empilements multicouches sur des optiques asphériques de grandes dimensions pour des applications en lithographie extrême U. V.

Pulvérisation ionique assistée par faisceaux d'ions d'oxyde de silicium et de tantale : application aux multicouches optiques