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researcher / Michel Sarret

Michel Sarret

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Disciplines:

Electrical engineering

Physics

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Directed Thesis:

Étude et optimisation d’une étape industrielle de dépôt polysilicium dopé in situ au phosphore par LPCVD

Mise au point d'une technologie de cristallisation de silicium par laser argon continu. Application à la réalisation de transistors en couches minces.

Silicium depose par l. P. C. V. D. Et dope in-situ : depot, caracterisation et application

Cristallisation par recuit rapide du silicium amorphe depose sur verre

Dépôt des couches de silicium polycristallin dopées in -situ au phosphore par la technologie VLPCVD : étude des propriétés physiques et électriques