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GEORGES LEMPERIERE
GEORGES LEMPERIERE
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Physics
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Etude de couches minces de wti et wti-n obtenues par pulverisation r. F. Magnetron et utilisees comme barrieres de diffusion
Analyse en energie des ions et des electrons arrivant sur un substrat polarise negativement dans deux decharges de pulverisation. Influence des bombardements ionique et electronique sur les proprietes et les contraintes residuelles des couches de nitrure de titane obtenues dans ces deux decharges