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Serge Rigo
Serge Rigo
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Applied sciences
Chemistry
Electrical engineering
Physics
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Mecanismes d'oxynitruration thermique du silicium et de la silice sous monoxyde d'azote
Conception et realisation d'un capteur a effet peltier pour la detection de la condensation - application au desembuage preventif
Etude de la croissance de films minces obtenus par oxydation et nitruration thermiques du silicium poreux : influence sur la morphologie, les defauts et la photoluminescence
Operateurs lineaires et non-lineaires en cmos
Etude par la methode sims de la nitruration thermique sous ammoniac de couches epaisses d'oxyde de silicium
Application du tracage isotopique a l'oxygene 18 a l'etude des mecanismes de transport atomique impliques dans l'oxydation thermique du silicium sous oxygene sec
Fabrication et etude d'un micromoteur electrostatique en microtechnologie silicium
La soudure directe silicium/silicium. Applications aux capteurs integres
Mecanismes de croissance de dielectriques par nitruration et par oxydation thermique rapide du silicium
Depot de nitrure de silicium et d'oxynitrure de silicium sur semi-conducteurs iii-v par thermie rapide
Caracterisation physico-chimique du silicium implante avec du bore ou de l'arsenic a forte dose, recuit par des procedes rapides (rta)
Etude xps des interfaces polyimide/isolant
Nitruration du silicium : application à l'isolation de champ des transistors MOS submicroniques
Etude des elements parasites et de leur impact sur les performances des circuits cmos-vlsi