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Farzaneh Arefi-Khonsari
Farzaneh Arefi-Khonsari
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Disciplines:
Applied sciences
Chemical engineering
Natural sciences
Physics
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Directed Thesis:
Etude des mécanismes élémentaires du dépot de couches minces d'oxyde d'étain par le procédé PACVD
Comparaison de procédés de dépôt de couches minces semiconductrices à partir de précurseurs organométalliques : cas des réacteurs à flux alternes en phase vapeur (ALCVD) et réacteur plasma diode hors équilibre (PACVD)
Depot de couches minces d'oxyde d'etain pur ou dope par procede plasma cvd basse pression : caracterisation energetiques et reactionnelle de la decharge par techniques spectroscopiques et modelisation
Stabilisation des proprietes de surface du polypropylene par plasma de melanges helium et ammoniac en vue de la metallisation par l'aluminium
Procede plasma cvd de depot de couches d'oxyde d'etain pour l'elaboration de capteurs chimique. Etude comparative des reacteurs diode et triode sur les proprietes physico-chimiques des couches