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researcher / Colette Tellier

Colette Tellier

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Disciplines:

Engineering sciences

Physics

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Directed Thesis:

Contribution à l'étude de l'attaque chimique du cristal de langasite

Capteurs piézorésistifs sur silicium : modélisation de l'influence du dopage et de la température : caractérisation du micro-usinage chimique de corps d'épreuve en silicium dans une solution de TMAH

Microstructures resonnantes en quartz pour capteurs de temperature : etude de la sensibilite en temperature, analyse des formes usinees et definition d'un procede de decoupe chimique

Éléments sensibles piézo-résistifs sur substrats silicium d'orientation non conventionnelle : Optimisation de la détection piézo-résistive et réalisation de corps d'épreuve par attaque chimique anisotrope

Dissolution anisotrope du cristal de silicium : modele tensoriel macroscopique et formes usinees experimentales