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Jacques Boulmer
Jacques Boulmer
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Disciplines:
Applied sciences
Chemistry
Physics
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Procédé laser de réalisation de jonctions ultra-minces pour la microélectronique silicium : étude expérimentale, modélisation et tests de faisabilité
Gravure du cuivre assistee par laser pour la microelectronique
Gravure du silicium par le chlore assistee par laser