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researcher / Simon Bulou

Simon Bulou

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Disciplines:

Physics
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Thesis:

Dépôt de couches minces de SiCN par dépot chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-onde : caractéristion du procédé et des films synthétisés dans un mélange N2/Ar/CH4/H2/hexaméthyldisilazane