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researcher / Jean-Marc Poitevin

Jean-Marc Poitevin

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Disciplines:

Applied sciences

Chemistry

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Directed Thesis:

Realisation et analyse des proprietes des couches minces de nitrure de tungstene utilisees comme barriere antidiffusion dans les circuits electroniques

Structure et proprietes de films minces de nitrure de titane comme barrieres anti-diffusion sur des substrats de silicium

Etude des mecanismes d'echauffement de l'anode porte-substrats dans une decharge de pulverisation d'iode-continu. Influence de la temperature et de la polarisation du substrat sur l'elaboration de couches minces de nitrure de titane