Miniaturní křemíkové mikrofony
Institution:
České vysoké učení technické (Prague)Disciplines:
Directors:
Abstract EN:
This thesis deals with formulating of the theoretical description of the electroacoustic transducer with the rectangular diaphragm and the nonplanar back electrode of a parabolic shape as an acoustic pressure sensor of the 0order. The study leads to the equivalent lumped element circuit. The possibilities of the micromechanical fabrication of the miniature silicon microphones were also studied and the complete fabrication process was proposed. In the theoretical part the generalized equivalent circuit describing electromechanical transformation in the transducer is described. The main part of the presented theory is dedicated to finding the equivalent circuit elements of the air-gap between the diaphragm and the non-planar back electrode exhausting to the peripheral cavity. The second part deals with description of micromechanical fabrication of miniature silicon microphones. , some experimental results of testing phases are presented.
Abstract FR:
L’objectif de ce travail est de trouver la description théorique du transducteur électrostatique à membrane carrée et électrode arrière non-plane utilisé comme le capteur de pression acoustique de 0. Ordre et d’examiner des possibilités de sa réalisation en utilisant les micro-technologiques. Dans la partie théorique, les transducteurs électrostatiques à membrane carrée et l’électrode arrière non-plane en forme de paraboloïde de révolution et á électrode arrière non-plane en gradins sont étudiés. Dans la deuxième partie les procédés nécessaires à la fabrication d’un prototype de microphone assemblé ont été mis au point, toutes les étapes nécessaires à la réalisation du microphone à l’électrode arrière en gradins (qui approxime le paraboloïde de révolution) ont été testées.