Abstract FR:

Nous presentons les resultats experimentaux de l'elaboration de couches minces supraconductrices de (nbti)n, deposees sur des substrats en cuivre par pulverisation reactive magnetron. Les couches ont ete optimisees pour la realisation de cavites acceleratrices 1. 5 ghz. Une nouvelle cathode magnetron a ete caracterisee puis utilisee pour le depot a l'interieur de plusieurs cavites. La pression partielle d'azote a ete optimisee sur des petits echantillons par des mesures de temperature critique et de resistivite a temperature ambiante. Des mesures hf ont ete realisees sur des echantillons de taille moyenne, a l'aide d'une cavite cylindrique te011 dont le couvercle etait demontable. Plusieurs traitements de surface du cuivre et plusieurs methodes de nettoyage ont ete essayes. Les meilleurs resultats ont ete obtenus pour des echantillons electropolis et nettoyes par bombardement ionique. Les plus faibles valeurs de resistance de surface mesurees ont ete de 100n a t=1. 7k et f=4ghz. La pente de la variation de la resistance de surface avec le champ hf est importante et pourrait etre reliee a la rugosite locale de la surface. L'ensemble du process de fabrication comprenant le polissage mecanique et electrochimique, le rincage, le transport, le montage, le depot et le test hf a ete valide avec succes. Le principal probleme restant a resoudre est l'ecaillement de la couche mince aux iris de la cavite a cause de la faible adhesion et des fortes contraintes. Aucune cavite (nbti)n exempte d'ecaillement n'a pu etre realisee