Abstract FR:

Apres implantation dans des matrices metalliques, les gaz rares precipitent et forment des bulles dont la pression interne est de quelques gpa. Parce que la presence de ces bulles peut modifier certaines proprietes mecaniques comme la durete, il est important de connaitre les caracteristiques des bulles et leur evolution pendant l'implantation et les traitements ulterieurs. La microscopie electronique en transmission a ete utilisee pour obtenir la taille et le nombre des bulles ainsi que la densite du gaz rare a l'interieur. Lorsque la dose implantee est faible (inferieure a 3. 10#1#5 ions. Cm#-#2), la majorite des atomes implantes sont en substitution et le nombre d'atomes qui precipitent lors des recuits ulterieurs est limite par le nombre de lacunes d'irradiation disponibles pour la formation de complexes mobiles krv#2. Entre 3. 10#1#5 et 3. 10#1#6 ions. Cm#-#2, la taille des bulles augmente avec la dose tandis que leur nombre reste sensiblement constant. Les bulles d'argon, de krypton et de xenon sont solides tandis que celles de nenon sont fluides; la pression dans les bulles decroit avec la dose mais est toujours tres proche de la pression d'equilibre 2 /r et le pourcentage d'atomes rassembles ne depasse pas 10%. Lorsque la dose implantee est elevee (>3. 10#1#6 ions. Cm#-#2), une double distribution en taille apparait, constituee de petites bulles solides et de larges bulles fluides. Le mecanisme de croissance observe pendant les recuits thermiques est celui de migration et coalescence. La transition solide-fluide du gaz rare dans les bulles est obtenue dans des conditions de temperature et de pression semblables a celles du changement d'etat du meme gaz rare massif. Les bulles fluides sont facettees et le type des facettes majoritaires depend a la fois de la pression et de la nature du gaz rare