thesis

Realisation et etude de couches minces de nitrure et d'oxynitrure thermiques de silicium

Defense date:

Jan. 1, 1986

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Institution:

Nantes

Disciplines:

Physics

Authors:

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Abstract EN:

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Abstract FR:

Preparation des couches nitrurees a 1100**(o)c sous ammoniac et analyse par ellipsometrie, spectrometrie esca. Auger et reaction nucleaire. Presence a la fois d'azote et d'oxygene dans les couches de nitrure. Distribution de l'azote en fonction du temps de nitruration. Caracterisation electrique