thesis

Elaboration et caracterisation de l'interface al/sic : influence de la stoechiometrie

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Jan. 1, 1986

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Elaboration du carbure de silicium par depot chimique en phase vapeur. Preparation et caracterisation de l'interface al/sic. Influence du traitement thermique et de la stoechiometrie du carbure sur les reactions se produisant a l'interface. Etude par spectrometrie de photoelectrons des interfaces elaborees