thesis
Interaction d'ions de gaz rares de faible energie avec des surfaces cristallines de silicium : implantation et degats d'irradiation
Institution:
Université Louis Pasteur (Strasbourg) (1971-2008)Disciplines:
Directors:
Abstract EN:
Pas de résumé disponible.
Abstract FR:
Etude par spectrometrie auger et spectrometrie de desorption thermique. Influence de la dose et de l'energie des ions, de la temperature d'irradiation, de la matiere du gaz et de la face cristalline. Les resultats suggerent une forte interaction entre le gaz et les degats. Proposition d'une etape determinante commune a la desorption et a la recristallisation