thesis

Effet getter dans le silicium poly- et bicristallin : interaction de l'or et de l'oxygene avec les impuretes metalliques

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Jan. 1, 1986

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Etude de l'effet getter au voisinage des surfaces de silicium bicristallin. Caracterisation des especes segregees a la surface par spectrometrie electronique auger permettant de connaitre les concentrations atomiques et les liaisons chimiques existant entre atomes. Analyse des trois facteurs principaux d'effet getter: role d'une couche d'oxyde; role des recuits thermiques, role d'une impurete a grande diffusivite, l'or