Abstract FR:

Etude de la preparation des surfaces (100) des supports inp utilises pour la croissance epitaxique dans un reacteur aux hydrures. Le reacteur est associe a un ellipsometre qui permet l'analyse in situ en temps reel de l'etat de surface de l'echantillon. Cet ellipsometre realise au laboratoire comporte un systeme original d'acquisition et de traitement des donnees qui evite l'echantillonnage. De nombreuses procedures de nettoyage thermique ont ete etudiees, sous controle ellipsometrique, permettant de determiner les conditions optimales pour stabiliser l'etat de surface sous flux de phosphure. Enfin, une etude thermodynamique est effectuee