Abstract FR:

Des couches minces de i. T. O. Ont ete obtenues par coevaporation reactive d'indiuum et d'etain en astmosphere oxydante. Les mecanismes de conduction sont relies au traitement thermique et au taux de cristallisation. Les couches de silice sont realisees par evaporation a l'aide d'un canon a electrons. Les proprietes mecaniques de ces couches sont correlees aux parametres de depot