thesis

Ultra-trace analysis of contaminants on silicon wafer surfaces : the development of a Synchrotron Radiation - Total reflection X-Ray Fluorescence (SR-TXRF) facility at the ESRF

Defense date:

Jan. 1, 2001

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Institution:

Université Joseph Fourier (Grenoble)

Disciplines:

Physics

Authors:

Directors:

Abstract EN:

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Abstract FR:

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