thesis

Deposition de nitrure de silicium par cvd assistee par plasma de decharge continue : etude de la phase gazeuse, tentatives de correlations avec les qualites de couches deposees

Defense date:

Jan. 1, 1988

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Institution:

Limoges

Disciplines:

Physics

Authors:

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Abstract EN:

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Abstract FR:

Etude spectroscopique des differents aspects de la phase aqueuse d'une decharge luminescente basse pression dans un melange ar/sih::(4)-n::(2). Les premiers resultats obtenus sur les depots de nitrure de silicium amorphe hydrogene sont ensuite presentes et quelques points de similarite entre les caracteristiques de la phase gazeuse et les proprietes des depots sont donnes