Abstract FR:

L'influence des differents parametres sur la vitesse de depot et la repartition en epaisseur est caracterisee. On montre que la vitesse de depot est proportionnelle a la puissance mise en jeu sur la cible, qu'elle decroit lorsque la distance cible-support augmente et qu'elle est, par contre, pratiquement independante de la pression. La repartition en epaisseur ne depend pratiquement que de la distance cible-support. Mise au point d'un dispositif experimental permettant de determiner l'energie fournie au support. Cette energie divisee par le nombre d'atomes deposes pendant le temps considere ne depend pratiquement pas des parametres des depots (puissance, pression, distance cible-support). Par contre, elle peut etre divisee par deux en placant entre la cible et le support une grille polarisee positivement par rapport a la masse